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제품소개
제품소개
COATING SW (白色) ESC
Dielectric
Ceramic Coating
Color
White
Chucking Force
> 40gf/cm2 @ Glass
Application
Display & Semiconductor
Characteristic
높은 정전력 구현 가능
⠀⠀
수명 장기화 가능
⠀⠀
이물 찍힘에 강한 정전척
⠀⠀
저전압 영역대에서 높은 정전력 구현 가능